真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。极限压力(极限真空)从粗真空到10^-12Pa以上的极高真空范围。

真空区域的划分

真空泵的规格及型号表示法

常用真空泵技术

蒸汽喷射泵

湿式泵（液环真空泵、旋转叶片泵）

干式泵（罗茨泵、螺杆泵、爪式泵）

1、蒸汽喷射泵

喷射真空泵工作原理：蒸汽喷射真空泵有一定压强的工作的真空泵设备，蒸汽通过拉瓦尔喷咀，减压增速，蒸汽的势能转变为动能并以超音速喷入混合室，与被抽介质混合，进行能量交换，混合后的气体进入扩压器，减速增压，动通转化为压强能，为了减少后级泵的抽气负荷，配置冷凝器，通过有一定温差的两种介质对流，进行热交换，达到冷凝高温介质目的，排到大气压。工作原理如下图所示：

常用真空泵技术

湿式泵：旋转叶片泵

转子在有柱状膛孔的定子内 。

转子有两个叶片在槽中反向滑动 。

当转子运转时，叶片端与油润滑定子壁接触。

每转一次为两个泵吸循环 —比较小的不平衡力。

螺杆泵：

通过减速或注气来冷却—能力降低并减少危险 双螺杆运转 不锈钢转子 转子啮合匹配 悬臂轴 单级压缩 产生过多的热 有很好的液体兼容性 维护保养非常容易 复杂的螺杆结构方式

爪式泵

爪式泵结构特点

气体压缩比高

有效的气体压缩

工艺材料可以从泵中通过（良好的灰尘处理）

良好的蒸汽输送和回收

能忍受热负载

抽空到和扩散泵交接

直接支持工业扩散泵

动量传递式真空泵

利用高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给被抽气体或气体分子，使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。

分子泵：牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵三大类。

喷射真空泵：水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类

扩散泵：以油或汞蒸汽作为工作介质。汞扩散泵不带分馏装置，油扩散泵有分馏装置。

喷射真空泵(Jet Vacuum Pump)

喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体，使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。

按工作介质可分为水喷射泵、大气喷射泵和水蒸汽喷射泵

喷射泵特点：

结构简单、工作稳定可靠；

可抽除含有水蒸汽、粉尘的气体、易燃易爆气体和腐蚀性气体；

抽气量大，应用广泛：冶金、化工、食品制造等领域；

缺点：抽气效率低，能量损失大。

水喷射泵是用水作为工作介质，通过高速射流来引射被抽气体，使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。

单级泵的极限压强为3.3kPa，两级串联可获得好一些的真空度，主要受水饱和蒸汽压的限制。

可单独使用，也可作为其他真空泵的前级。

喷嘴的作用是将水的压强转变成动能，其结构对泵的性能影响较大，常用锥形收缩型、流线型和多孔型。

吸入室一般为圆筒形，截面积为喷嘴出口面积的6-10倍。

扩散器由渐缩段、喉管、渐扩段组成。渐缩段使气体顺利进入喉管(15~30^o)；喉管使液体与气体均匀混合，进行质量迁移和能量传递；渐扩段是将气液混合介质动能转变为压力能，使被抽气体压缩。(5~8^o)

锅炉内的扩散泵油经电加热沸腾形成蒸汽；

油蒸汽经过导流管进入伞形喷嘴，形成超音速蒸汽流；

由于存在密度梯度，油蒸汽射流上方的被抽气体扩散到蒸汽射流内部，获得动量，被携带到泵壁上；

油蒸汽在水冷泵壁上冷凝，释放出气体，被前级泵抽走；

冷凝油滴沿泵壁流回锅炉。

真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。

正确地选择真空泵的工作点。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。

真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵。

真空泵的价格、运转及维修费用。

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